高低温真空探针台
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持最高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
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高低温真空探针台
产品概述：
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持最高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
高低温真空探针台
技术指标：
型号
T81-50探针台
T80-50探针台
制冷方式
液氦/液氮制冷
闭循环制冷机
腔体材质
无磁不锈钢或者铝合金
真空度
真空上等高达10-8Pa
真空腔观察窗尺寸
2inch（可选）
控温范围
4.2K-450K
5K-450K
控温分辨率
0.001K控温仪相关
温度稳定性
0.1K控温仪相关
降温时间
40min
150min内，视制冷机功率定
温度传感器
硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个）
加热电源
LVDC 低压直流
样品台材质
镀金无氧铜
样品台尺寸
直径20-50mm，可选100mm
样品台平整度
≤7μm
样品台固定方式
固定的样品台（可升级随位移台移动）
样品台振动级别
≤50纳米
≤1μm（三级减震）
探针臂数量
2个、4个、6个、8个可选
探针臂机械精度
±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选）
探针种类
钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针）
探针调节
真空波纹管外部调节，手动控制
放大倍数
16~100X/20~4000X
显微镜行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
电力需求
220V 50-60Hz
选型注意事项：
※最大需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！最小的单颗芯片尺寸！
※探针台机械精度要求多高！
※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！
※最多需要几个探针同时去点测！
※是否会用到探针卡测试！
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少！
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测！
※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低
电容要求是否要做到0.1pf！是否有射频需求！
※接驳的测试仪器接口有哪些！
※测试环境时是否会需要加热或者降温！ 是否需要密闭腔体！
※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！
※是否需要防震桌！
※若添置防震桌，是否有压缩空气！
