高温磁场探针台

  • ※  样品尺寸:8英寸(需要有固定夹具,还有10mmx10mm,20mmx20mm样品也需要考虑单独固定)
    ※  样品温度:精圆上单独放一个温度计,测量精圆表面温度(温度计封装在镀金无氧铜块内,铜块与精圆接触测温,使用比较细的软线方便移动与测量)
    ※  磁场强度:>1000oe(样品测试处磁场)
    ※  持续工作时间:5小时
    ※  样品台尺寸:210mm (根据实际可更改,不小于8英寸),
    ※  样品台采用三维移动方式,移动行程:±110mm,移动精度:10um
    ※  样品台主要零部件材质均为优质无磁合金制作;
    ※  在室温到350度,升温速率优于10K/min,最高加热温度350℃;控温精度:±1℃;
    ※  加热时,加热丝被封装在石英管内,极大程度的减少由于加热丝的挥发造成样品表面附着物的污染;
    ※  匹配磁铁电源:双极性,稳定度优于±25ppm/h,平滑过零无断点;
    ※  匹配电磁铁:长时间运行稳定度<±0.5Gs;
    ※  冷却方式:自然冷却。
    软件1.1功能介绍:
    ※ 可以控制电流扫场,
    ※ 可以控制温度变化,
    ※ 可以输出电流测电压得到电阻,
    ※ 可以输出电压测电流得到电阻,
    ※ 测试程序需要输出数据及测试图,
    ※ 采集记录精圆处测量的数据
    显微镜功能介绍 H5608 
    ※  采用积木式结构,平行光路光学系统;
    ※  0.6-5.0X连续变倍,1:8.3大变倍比。高分辨率、高对比度成像。重复定位;精度高,重复精度可达1um;
    ※  标配工作距离:86mm;
    ※  CCD接口可选:0.5X;
    ※  不同倍率辅助物镜倍率可选:0.3X-2.5X。
    ※  采用842万像素索尼新一代高动态范围CMOS 图像传感器;
    ※  采用1/1.8英寸图像传感器;
    ※  HDMI最高4K 60帧图像输出;
    ※  支持拍照 ,JPG格式;
    ※  支持手动一键曝光
    ※  支持手动一键白平衡,红、绿、蓝可调;
    ※  提供8条画线功能,线条颜色、粗细,位置可调;
    ※  支持U盘存储;
    ※  支持鼠标操作;
    ※  拍照不抖动图像更清晰;
    ※  支持中/英/繁语言(默认英文);
    ※  支持关机设置参数保存;
    ※  采用CNC精铣技术加工铝合金外壳;
    设备配置
    ※  定制高温加热样品台:1
    ※  手动探针:4
    ※  定制高温控温仪:1  JH401
    ※  定制电磁铁:1  DZ-12
    ※  双极性恒流电源:1   JCP-5/40SA
    ※  定制三维手动位移台:1   PT80-50
    ※  样品处温度传感器,及显示器:1  PT100-BO
    ※  定制软件: 1套  1.1
    ※  内置高斯计:1台  GP5
    ※  台式计算机:1台
    ※  显微镜:1套

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