国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心在松江成立
10月30日，国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心在上海松江正式揭牌成立。该中心由同济大学牵头，联合张江实验室共同筹建，旨在聚焦集成电路微纳检测设备的国产替代计量测试需求，提升芯片产业链的自主可控能力与产业韧性。
中心将立足松江，服务辐射长三角地区，致力于为国产集成电路精密仪器仪表厂商提供覆盖“全产业链、全寿命周期、全溯源链”并具备前瞻性研究能力的“三全一前”计量技术服务。
据了解，集成电路制造对测量精度要求极高。以7纳米芯片制造为例，需要测量的精度达到约0.1纳米，相当于头发丝直径的十万分之一，而计量精度要求更高，需优于0.01纳米。在芯片制造过程中，如果计量标准不准确，将直接影响产品合格率。
该中心主要致力于解决集成电路领域计量测试技术的自主创新问题。基于量子化光晶格常数技术，中心开发了新的计量方法和仪器，研制了包括纳米级角度标准物质在内的多项国家一级标准物质，并建立了新的纳米计量体系。中心将提供覆盖全产业链、全寿命周期和全溯源链的计量技术服务，同时开展前瞻性研究。中心负责人表示，将着力构建集成电路产业专用自溯源纳米长度计量技术体系。
中心的建设得到了多方支持。同济大学长三角G60科创走廊研究院作为孵化平台，在项目落地过程中发挥了重要作用。松江区相关部门在政策、资金和场地等方面提供了配套支持。
目前，该中心产业化公司筹建工作已同步启动。未来，中心将围绕松江区产业发展需求，通过多种合作方式推动技术创新和成果转化。
文章来源：化工仪器网
2025年11月8日 15:41
